اصل فنی: پرتوهای لیزر با انرژی بالا (مانند لیزرهای پالس نانوثانیه‌ای/پیکوثانیه‌ای) بر روی سطح ویفرهای سیلیکونی متمرکز می‌شوند و تبخیر یا ذوب مواد از طریق دمای بالا به صورت آنی انجام می‌شود تا برش کامل شود. طول موج لیزر معمولاً 1.06 میکرومتر (لیزر نیمه‌هادی) یا 1064 نانومتر (لیزر فیبر) است.
مزایای اصلی:
دقت بالا: دقت برش می‌تواند به ± 10 میکرومتر برسد و عرض ناحیه تحت تأثیر حرارت (HAZ) کمتر از 20 میکرومتر است که به طور قابل توجهی بهتر از دقت ± 50 میکرومتر برش مکانیکی است.
پردازش بدون تماس: از خطر ترک خوردن ناشی از تنش مکانیکی جلوگیری می‌کند و بازده برش بیش از 99.5% است.
سرعت بالا: سرعت برش می‌تواند به 1200mm/s برسد و یک دستگاه واحد می‌تواند بیش از 5000 قطعه در روز تولید کند.